如果應用要求測量極低的電流，那么正確選擇測量儀器極為重要。大多數低電流直流測量采用靜電計、皮安表或源-測量單元(SMU)。靜電計(見圖1)是一種能測量低電流、高電阻、高輸入阻抗電壓及電荷的精密直流萬用表。皮安表是一種只測量低電流而且可以測量高電阻(如有內建電壓源)的儀器。SMU可以提供電流和電壓源，還能測量電流與電壓。然而，并非所有SMU都具有低電流性能，所以要仔細檢查技術指標。

    數字萬用表(DMM)一般不適于測量極低電流，因為DMM的輸入失調電流過大、電流分辨率不夠高而且輸入壓降過大。